Vetro Corning Extreme ULE: Stabilisce nuovi standard per la litografia EUV con una stabilità termica senza pari

Corning ha appena lanciato su https://www.corning.com/worldwide/en/about-us/news-events/news-releases/2024/09/corning-unveils-extreme-ule-glass-to-enable-next-generation-of-microchips.html un nuovo materiale a bassissima espansione (ULE), che sarà in grado di gestire la crescente potenza dei prossimi sistemi di litografia EUV a basso e alto contenuto di anidride carbonica. Il nuovo vetro Extreme ULE è destinato a diventare il punto di riferimento per i fotomaschi e gli specchi litografici di nuova generazione nei futuri strumenti di fabbricazione.

La caratteristica principale di Extreme ULE è l'espansione termica eccezionalmente bassa, che offre un'eccezionale consistenza per l'uso delle fotomaschere. Inoltre, è molto piatto, il che aiuta a combattere la fastidiosa "ondulazione della fotomaschera" e riduce le variazioni indesiderate nella produzione di chip. Queste caratteristiche ci permettono di utilizzare pellicole e fotoresistenze avanzate per aumentare i rendimenti e le prestazioni.

I sistemi di litografia EUV utilizzano una sorgente di plasma per creare una luce EUV super intensa, che produce anche molto calore. La maggior parte di questo calore, però, rimane nella camera della sorgente, separata dalla fotomaschera. La luce EUV viene poi indirizzata verso la fotomaschera attraverso specchi litografici di fantasia, ma questi specchi possono essere sensibili al calore.

Le fotomaschere sono realizzate con materiali riflettenti multistrato, progettati per far rimbalzare molto bene le radiazioni EUV. Fanno un ottimo lavoro di riflessione, ma assorbono comunque una piccola parte della luce EUV, il che significa che la fotomaschera si ritrova con un po' di carico termico in più.

Man mano che gli strumenti EUV aumentano il loro gioco e processano più wafer all'ora (WPH), introducono fonti di luce più potenti. Ciò significa che pellicole, fotomaschere e fotoresistenze devono affrontare livelli più elevati di radiazioni e calore EUV. Il vetro Extreme ULE di Corning, che si basa sulla famiglia ULE classica, offre un'incredibile stabilità termica e uniformità, proprio ciò di cui hanno bisogno gli strumenti EUV di nuova generazione ad alto e presto a basso contenuto di AN.

"Con l'aumento delle esigenze della produzione di chip integrati con l'ascesa dell'intelligenza artificiale, l'innovazione del vetro è più importante che mai", ha dichiarato Claude Echahamian, Vice Presidente e Direttore Generale di Corning Advanced Optics. "Il vetro Extreme ULE amplierà il ruolo vitale di Corning nel continuo perseguimento della Legge di Moore, aiutando a consentire una produzione EUV più potente e una resa più elevata"