Il robot Dextro di Lam Research porta la precisione 2x alla manutenzione dei semiconduttori

Lam Research ha appena lanciato Dextroun nuovo robot collaborativo costruito appositamente per affrontare le sfide della manutenzione delle apparecchiature di produzione di semiconduttori. Questo robot mobile è già attivo e funzionante in diverse fabbriche di wafer high-tech in tutto il mondo, occupandosi di 50-100 camere di strumenti Lam che necessitano di manutenzione mensile.

Dextro è stato progettato per risolvere alcune delle maggiori sfide nella manutenzione dei semiconduttori e ha tre caratteristiche distintive. Innanzitutto, installa le parti di consumo con una precisione più che doppia rispetto al lavoro manuale, il che aiuta a migliorare le prestazioni di incisione ai bordi del wafer. Il robot stringe anche i bulloni di sigillatura sottovuoto secondo una specifica precisa, eliminando il tasso di errore del 5 percento tipico delle mani umane. Questo riduce il rischio di fluttuazioni della temperatura della camera che potrebbero compromettere la produzione.

Inoltre, Dextro dispone di una tecnologia di pulizia automatizzata e di rimozione del polimero che può eliminare gli accumuli laterali nella camera senza smontare la camera inferiore. Questo rende anche più sicuro l'intero processo, eliminando la necessità di dispositivi di protezione come le maschere di respirazione, che erano indispensabili nella pulizia manuale.

Young Ju Kim, VP e responsabile del Memory Etch Technology Team di Samsung Electronics, ha condiviso i suoi pensieri sull'importanza di una manutenzione rapida ed efficiente: "Quando le apparecchiature di produzione necessitano di manutenzione, il lavoro deve essere eseguito in modo rapido ed efficiente, per evitare tempi di inattività prolungati e sprechi di costi. La manutenzione senza errori di Dextro aiuta a migliorare la variabilità della produzione e la resa"

Al momento, Dextro funziona con gli strumenti di incisione dielettrica della serie Flex G e H di Lam, e il piano prevede di estendere la sua compatibilità ad altre apparecchiature entro il 2025. Il sistema funziona su un carrello mobile ed è controllato dai tecnici di fabbrica o dagli ingegneri, che utilizzano diversi dispositivi finali per ogni attività di manutenzione.